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半導體製作工廠廢氣處理工程

編輯:啟綠環保   瀏覽:  時間:2020-03-20

半導體行業作為高新技術產業往往被人誤解為 “清潔”產業,但事實上,半導體生產過程中使用了大量有機和無機物,包括許多有毒有害物質,對環境危害較為嚴重,如不加以控製,將會產生較大的環境汙染。

隨著國家對環保的重視,國家和地方相繼發布了半導體行業廢氣排放標準。

東莞啟綠環保工程設備公司首先提出活性炭吸附概念(發明專利),是掌握該技術並實際應用的企業。為有機廢氣治理開辟了一條全新的途徑。
半導體製作工廠廢氣處理工藝說明:

有機廢氣氣體由風機提供動力,正壓或負壓進入活性炭吸附器,廢氣與具有大表麵的多孔性的活性炭接觸 ,廢氣中的汙染物被吸附,使其與氣體混合物分離而起到淨化作用,淨化氣體高空達標排放。

         

不含塵機廢氣處理活性炭吸附工藝流程圖 
  
 

含塵含高溫機廢氣經活性炭吸附處理工藝流程圖 


 

深圳合元集團有限公司有機廢氣處理(活性炭吸附)
 
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